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工藝卡點(diǎn) 石墨舟配件

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1.提高產(chǎn)品成品率：硅片裝夾牢固，減少掉片現(xiàn)象，減少氮化硅的色差片，提高了成品率。 2.工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)小，新的圓形工藝點(diǎn)在硅片上的鉤點(diǎn)面積是1.472mm2，新的菱形工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)面積是0.619mm2。 3.使用壽命長。 4.采用德國西格里高純石墨，純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長。

無

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